SOL-GEL方法制备PZT铁电薄膜新方法及铁电特性研究

[摘要]

我们用SOL-GEL方法对PZT的制备进行了深入细致的研究,PZT薄膜不同组分的加入顺序对铁电特性的影响较小,而精确地控制PZT铁电薄膜的组分是制备性能良好的铁电薄膜的关键,铁电薄膜的退火条件对铁电薄膜特性有着至关重要的影响.我们运用将Zr及Ti有机物溶液加入Pb的有机溶液的新的制备工艺流程以精确地控制Pb/Zr/Ti的组分,从而制备出性能良好的铁电薄膜.在大量实验的基础上,我们绘制出扩散炉和快速热退火时,钙钛矿的形成与退火温度及时间的关系图,并且得出PZT铁电薄膜最佳的退火温度和时间区域.

[关键词]

SOL-GEL,PZT,钙钛矿结构,铁电薄膜,制备工艺,退火温度

[作者]

颜雷, 复旦大学电子工程系微电子学研究所(上海); 汤庭鳌, 复旦大学电子工程系微电子学研究所(上海); 黄维宁, 复旦大学电子工程系微电子学研究所(上海); 姜国宝, 复旦大学电子工程系微电子学研究所(上海); 程旭, 复旦大学电子工程系微电子学研究所(上海); 姚海平, 复旦大学电子工程系微电子学研究所(上海); 钟琪, 复旦大学电子工程系微电子学研究所(上海)

[会议名称]

第二届海内外中华青年学者材料科学技术研讨会暨第七届全国青年材料科学研讨会

[会议时间]

20001001

[会议地点]

杭州

[主办单位]

中国材料研究学会

[会议分类]

一般工业技术 金属学与金属工艺

[母体文献]

第二届海内外中华青年学者材料科学技术研讨会暨第七届全国青年材料科学研讨会论文集2000增刊第18卷(下册)

[出版单位]

《材料科学与工程》编辑部

[出版地]

北京

[出版时间]

20001001

[页码]

758-761

[注释项]

[分类]

一般工业技术 金属学与金属工艺

[密级]

[馆藏号]

H048449 点击免费下载论文：SOL-GEL方法制备PZT铁电薄膜新方法及铁电特性研究