经Al2O3与 SiOx钝化的多孔硅及其光致发光特性 |
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| [摘要] |
| 在一定偏压下用AlCl3+C2H5OH+H2O混合液对多孔硅进行了后处理。经过处理的多孔硅与未经处理的多孔硅相比，其发光强且稳定。通过对样品进行红外吸收谱的测试和分析，指出在后处理样品表面形成的Al2O3与SiOx结构是多孔硅发光增强和稳定性得到提高的原因。 |
| [英文摘要] |
| [关键词] |
| 多孔硅，光致发光，钝化，Al2O3，SiOx |
| [作者] |
| 刘小兵 史向华 熊祖洪 袁帅 廖良生 |
| [作者单位] |
| 长沙电力学院物理系 长沙 410077;长沙电力学院物理系 长沙 410077;复旦大学应用表面物理国家重点实验室 上海 200433;复旦大学应用表面物理国家重点实验室 上海 200433;复旦大学应用表面物理国家重点实验室 上海 200433; |
| [刊名] |
| 半导体学报 |
| [英文刊名] |
| CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS |
| [期刊类别] |
| 无线电电子学与电信技术 |
| [年 卷 期] |
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2000 21 01 点击免费下载论文：经Al2O3与 SiOx钝化的多孔硅及其光致发光特性 |