超纯水精处理系统与水质评价 |
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| [摘要] |
| 以0.5μm技术之需而设的一套超纯水精处理系统为实例,介绍其工艺流程及其特点,给出各项水质参数的实测数据,进而述评≤0.25μm/8"线的水质评价项目及其限定值、分析手段和在线检测仪表. |
| [英文摘要] |
| [关键词] |
| 超纯水 精处理 水质 仪表 |
| [作者] |
| 林耀泽 |
| [作者单位] |
| 无锡市荷叶新村28门,214061 |
| [刊名] |
| 洁净与空调技术 |
| [英文刊名] |
| CONTAMINATION CONTROL & AIR-CONDITIONING TECHNOLOGY |
| [期刊类别] |
| 电工技术 |
| [年 卷 期] |
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